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ISO Class5 & 百級

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ISO Class5 & 半導體百級無(wú)塵室

發(fā)布者:磊建凈化

發(fā)布時(shí)間:2022-01-24

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百級無(wú)塵室案例簡(jiǎn)介:

承接單位:上海磊建凈化

潔凈等級:百級、千級

工程定位:浙江***半導體材料有限公司



  無(wú)塵室的平面布局:

  無(wú)塵室一般包括潔凈區、準潔凈區和輔助區三部分。

  無(wú)塵室的平面布置可以有以下幾種方式:

  外廊環(huán)繞式:外廊可以有窗和無(wú)窗,兼作參觀(guān)和放置一些設備用,有的在外廊內設值班采暖。外窗必須是雙層密封窗。

  內廊式:無(wú)塵室設在外圍,而走廊設在內部,這種走廊的潔凈度級別一般都較高,甚至和無(wú)塵室同級。

  兩端式:潔凈區設在一邊,另一邊設準潔凈和輔助用房。

  核心式:為了節約用地、縮短管線(xiàn),可以潔凈區為核心,上下左右被各種輔助用房和隱蔽管道的空間包圍起來(lái),這種方式避開(kāi)室外氣候對潔凈區的影響,減少了冷熱能耗,利于節能



百級無(wú)塵室裝修實(shí)拍



  百級無(wú)塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。



  百級無(wú)塵室的空氣潔凈度,進(jìn)行下列測試:

  空態(tài)測試:無(wú)塵室已竣工,凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態(tài),室內沒(méi)有工藝設備和生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測試。

  靜態(tài)測試:無(wú)塵室凈化空氣調節系統已處于正常運行狀態(tài),工藝設備已安裝,室內沒(méi)有生產(chǎn)人員的情況下進(jìn)行測試。

  動(dòng)態(tài)測試:無(wú)塵室已處于正常生產(chǎn)狀態(tài)下進(jìn)行測試。無(wú)塵室的風(fēng)量、風(fēng)速、正壓、溫度、濕度、噪聲的檢測,可按一般通用、空氣調節的有關(guān)規定執行。

  百級無(wú)塵室工作區空氣潔凈度的測試方法對于粒徑大于或等于0.5微米的塵粒計數,宜采用光散射粒子計數法。對于粒徑大于或等于5微米的塵粒計數也可采用濾膜顯微鏡計數法。



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半導體百級潔凈室裝修

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